功能原理:低摩擦恒力气缸是一种基于静压空气轴承的间隙密封气动执行机构,允许活塞在没有任何接触的情况下运动,因此消除了滑动摩擦力,能够满足超高精度的压力与位置控制要求。随着半导体和纳米技术市场的发展以及对超精密零件的需求不断增加,低摩擦气缸可用于零重力环境模拟、精密抛光打磨、半导体加工制造、高精密装配、超高精密测量、医疗机器人、搬运机器人等。
主要参数:
活塞与缸筒气体间隙密封实现低摩擦;
设计承载400kg;
气缸内径125mm,行程500mm;
活塞运动控制频率>10Hz;
恒力控制精度在负载0.1%内。