研究方向

气体静压轴承技术

可以提供

纳米级支承精度

是精密/超精密加工

检测、计量装备的

关键技术

团队

面向半导体

高端装备

对气体静压轴承

的复杂性能需求

揭示了

轴承的成膜

流致振动机理

创新了

高稳定轴承结构

抑振手段

建立了

轴承系统动力学分析体系和

精准调控方法

研制的

宽域高刚度

高稳定性

气体静压轴承产品

在半导体

超精密加工

微低重力模拟

等领域

多种高端装备中

得到应用

孵化

苏州汉诺克精密科技有限公司

研制出

划片机

倒角机

减薄机

载物台

等晶圆加工装备

气浮主轴

打破日本

韩国等

国外企业的

技术垄断

并成功

应用于

国内主流

半导体装备企业