静压组实验设备

功能：静压气体轴承支承转台刚度测试实验台可以基于载荷-位移法对静压气体轴承支承转台的轴向静态刚度和径向静态刚度进行测量。载荷由气缸加载，采用压电式力传感器对载荷进行测量，使用激光位移传感器对气膜厚度变化进行测量。平台采用模块化设计，其中转台轴向刚度、径向刚度和主轴径向刚度的测试台均共用一个框架，仅需调整气缸和传感器安装位置，并更换相应接口即可实现测量。主轴轴向刚度测试台与转台轴向刚度测试台的加载模块可互换使用。

主要参数：最大加载 5400N，测量分辨率0.1 N/μm，位移传感器重复精度 0.02 μm，转台安装接口尺寸可定制。