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功能：通过研究针对气体非线性干扰的补偿控制算法，实现气浮平台长行程、大承载、快速响应及高精度的定位和位置跟踪，以应用于精密量具制造、半导体加工、激光加工等高端工程场景。
主要参数：行程±150mm，定位精度 10um，最大加速度 1g
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发布人：日期：2022年01月12日 17:54浏览数：
功能：通过研究针对气体非线性干扰的补偿控制算法，实现气浮平台长行程、大承载、快速响应及高精度的定位和位置跟踪，以应用于精密量具制造、半导体加工、激光加工等高端工程场景。
主要参数：行程±150mm，定位精度 10um，最大加速度 1g
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