精密制造装备

运动功能部件系统是精密制造装备和仪器装置的执行机构和核心技术，其承载、刚度、回转精度或稳定性等核心指标直接决定了高端装备的性能。以IC领域为代表的高端精密制造装备已经迈入纳米级，甚至亚纳米级精度的世界。例如，荷兰ASML公司新一代深紫外光浸没式光刻机 TWINSCAN NXT: 1980Di的分辨率已小于38 nm，套刻精度小于2.5 nm。然而，在如此大行程范围内得到快速而高精度的定位，相对运动部件之间的摩擦、温升和振动成为最大的障碍之一。面向极端精度和刚度需求的超精密运动功能部件已成为实现超精密制造、超精密测量和科学实验等领域核心装备的关键，是高端精密装备研制的“门槛性”技术。