静压组实验设备

功能：云麓超精密二维气浮平台由粗动台和微动台堆叠而成。粗动台由底座（白色部分）、X运动框架（黄色部分）和Y运动框架（绿色部分）组成，通过8个音圈电机与微动台（绿色部分）无接触连接，通过双频激光干涉仪、激光位移传感器进行获得位置信号，使用多孔质轴承支承，实现微动台XY平面内的无摩擦运动。粗动台可实现X、Y两个方向的直线运动，X方向和Y方向分别由2个直线电机驱动，由直线导轨进行导向支承，通过光栅尺获得位置信号。

主要参数：X方向位移行程150 mm；Y方向位移行程150 mm；X、Y双向目标定位精度±1μm；X、Y双向目标重复定位精度±0.1μm；最大加速度1g。